266nm紫外脈沖激光器

LL266-Q全固態(tài)266 nm的紫外激光器廣泛用于紫外光固化，微電子，光盤雕刻，激光醫(yī)療，科學(xué)實(shí)驗(yàn)等

波長(zhǎng)Wavelength (nm)

266±1

輸出功率 Output Power (mW)

1-200

線寬Spectral Linewidth (nm)

<3

工作方式 Operating Mode

脈沖

單脈沖能量(μJ)

0.1~10

重復(fù)速率(kHz)

可操控的

固定重復(fù)速率，例如1k,2k,3k,4kHz,穩(wěn)壓激光器脈沖發(fā)射(穩(wěn)定脈沖能量,峰值,持續(xù)時(shí)間和周期)。

不同的重復(fù)速率在1kHz-4kHz的范圍內(nèi)可以通過輸入一個(gè)外部TTL信號(hào)取得。

不可操控的

在4k-10kHz范圍內(nèi)不確定的重復(fù)速率和激光器不穩(wěn)定脈沖發(fā)射。需要高峰值能量脈沖以適合應(yīng)用程序。

光斑模式

Beam Mode

橫模 Transverse

Near TE00

縱模 Longitude

Multi-longitude

偏振方式 Polarization

Line polarization

偏振比Polarization Ratio

>100:1

光束質(zhì)量Beam Quality (M2 factor)

<20

光束發(fā)散角Beam Divergence (full angle, mrad)

~2.0

光束直徑Beam Diameter at Aperture (mm)

2.0

光束指向穩(wěn)定性 Beam pointing stability（mrad）

<0.05

功率穩(wěn)定性Power Stability (RMS, over 8 hours)

<5%,<10%

振幅穩(wěn)定性Noise of Amplitude (P-P)/噪聲值

<3%

出光孔高度 Aperture Position (mm)

25/45

激光頭

Laser Head

尺寸 Dimensions (L×W×H, mm)

209 x 88x 74/204 x 78 x 63

重量 Net Weight (kg)

1.6/2.3

驅(qū)動(dòng)電源

Power Driver

尺寸 Dimensions (L×W×H, mm)

209 x 88 x 74

重量 Net Weight (kg)

2.3

電源型號(hào)Integrated Driver Model

F-266

制冷方式Cooling System

TEC

預(yù)熱時(shí)間Warm-up Time (minutes)

<5

工作溫度Operation Temperature (℃)

10~35

使用壽命Expected Lifetime (hours)

>10000

保修期Warranty Time

1 year