該電容式微位移計(jì)將新開發(fā)的 VE 系列電容式間隙檢測(cè)器與 VT 系列傳感器相結(jié)合，以高精度無(wú)接觸地測(cè)量到測(cè)量目標(biāo)（鐵、鋁、銅和各種金屬鍍層等導(dǎo)體）的距離和位移。
傳感器端面與目標(biāo)表面之間的間隙和位移是從被測(cè)物體表面形成的電容器的電容和安裝在其對(duì)面的 VE 系列傳感器電極的端面測(cè)量得出的。
有兩種型號(hào)可供選擇：響應(yīng)頻率為 4 kHz 的 VT-5210 和高速響應(yīng)頻率為 10 kHz 的 VT-5220。 它可有效測(cè)量和控制旋轉(zhuǎn)機(jī)器（如渦輪機(jī)、電動(dòng)機(jī)和壓縮機(jī)）的軸向振動(dòng)和表面跳動(dòng)，以及硅晶片和硬盤等電導(dǎo)體的翹曲、平面度和厚度。
非接觸式檢測(cè)意味著旋轉(zhuǎn)或振動(dòng)的物體上沒(méi)有負(fù)載，無(wú)需更改振動(dòng)模式。 VE 傳感器有 9 種類型，范圍從 20μm ~ 8 mm。